低溫等離子體 等離子體內(nèi)部產(chǎn)生富含極高化學(xué)活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等。v廢氣中的污染物質(zhì)與這些具有較高能量的活性基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)，.終轉(zhuǎn)化為CO2和H2O等物質(zhì)，從而達(dá)到凈化廢氣的目的。適用范圍廣，凈化效率高，尤其適用于其它方法難以處理的多組分惡臭、有機(jī)廢氣，設(shè)備占地面積小；電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭、有機(jī)廢氣分子作用；運(yùn)行費(fèi)用低；反應(yīng)快、停止十分迅速，隨用隨開，適合處理大風(fēng)量低濃度的廢氣。但一次性投資費(fèi)用較高。